特氣柜是指主要用于供應特種氣體的柜子，氣體一般有易燃，易爆，劇毒等特性。主要用于半導體和LED的新興行業，特氣柜由下面幾個部件組成：

1. 氣動閥氣源：一般以GN2來進行控制，不建議使用CDA（clean dry air），因GN2的供應系統比較穩定，不會因停電或運轉設備故障而中斷，此氣源是用于自動或半自動的氣動閥件開關。

2. 手動控制閥：主要用于第二道防護作為第二次確認用或檢修，一般于供應氣體的出口端。

3. 逆止閥(單向閥)：防止特氣倒灌到清潔用的PN2（高純氮）系統和抽氣用的GN2（普氮）系統。

4. 調壓閥：用于調整供應系統的供應壓力。

5. 壓力傳感器：是防護系統中非常重要的零件，透過它我們可以判斷管路是否泄漏，相關閥件是否正常開關，同時亦可檢知鋼瓶的剩余量。

6. 真空產生器：利用GN2快速流動產生吸力，將管路中的氣體抽出，以到達抽氣的目的。

7. 氣體過濾器：一般在鋼瓶出口端會裝比較粗的過濾器，在出端會裝比較細的過濾器，有效過濾氣體中的顆粒，過濾器較不易吹掃，所以一般不建議裝在常吹掃的管路中。

8. 過流量偵測器：對管路異常流量進行偵測，若是超過設定值，即判斷管路上可能大量泄漏，進而關閉供應系統停止供氣。

9.限流孔：是一種簡易又有效的過流量控制裝置，用以限制大量氣體流過，一般適用于出口處，其主要功用是避免大量的特殊氣體排出，區域性的廢氣處理機無法處理的情況發生。

其中：對于特氣柜里重要的儀器儀表組成部分，壓力表和壓力傳感器質量的好壞，對設備正常運行、數據采集起到了決定性的作用。長野計器（NKS）生產的壓力表和壓力傳感器GW系列和ZT系列就是為半導體特氣柜量身定做的產品，長野計器的產品具有響應速度快，信號采集輸出穩定，安全可靠。產品在市場中名列前茅，收到了客戶的一致認可。

部分轉載自百度文庫